|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processingтезисы доклада
- Авторы: Feoktistov V.A., Lopaev D.V., Klopovsky K.S., Popov A.M., Popovicheva O.B., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
- Сборник: IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts
- Тезисы
- Год издания: 1992
- Место издания: The Hague, The Netherlands
- Первая страница: 174
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович