Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Зарядка субмикронных структур при травлении диоксида кремния в одно и двухчастотном газовом разряде
статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Авторы:
Палов А.П.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
, Шамирян Д.
Журнал:
Физика плазмы
Том:
36
Номер:
10
Год издания:
2010
Издательство:
ФГБУ "Издательство "Наука"
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
949
Последняя страница:
959
Добавил в систему:
Палов Александр Петрович