|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Самосогласованная модель ВЧ разряда низкого давления в кислородной плазместатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Клоповский К.С., Попов А.М., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Феоктистов В.А.
- Журнал: Физика плазмы
- Том: 19
- Номер: 7
- Год издания: 1993
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 910
- Последняя страница: 918
- Добавил в систему: Рахимов Александр Турсунович