|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
МЕТОД ДИФРАКТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ И МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ДИФРАКЦИОННОГО СПЕКТРАстатья
- Авторы: Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л., Спыну М.В.
- Журнал: Проектирование и технология электронных средств
- Год издания: 2006
- Первая страница: 37
- Последняя страница: 43
- Добавил в систему: Истомина Наталья Леонидовна