Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
МЕТОД ДИФРАКТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ И МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ДИФРАКЦИОННОГО СПЕКТРА
статья
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Авторы:
Беневоленский С.Б.
,
Истомина Н.Л.
,
Спыну М.В.
Журнал:
Проектирование и технология электронных средств
Год издания:
2006
Первая страница:
37
Последняя страница:
43
Добавил в систему:
Истомина Наталья Леонидовна