|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
МОДЕЛИРОВАНИЕ И КОМПЬЮТЕРНАЯ ОБРАБОТКА ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИ ИМС НА ОСНОВЕ ДИФРАКТОМЕТРИИ В МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИстатья
- Авторы: Истомина Н.Л., Спыну М.В.
- Журнал: Успехи современного естествознания
- Год издания: 2005
- Издательство: Акад. естествознания
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 72
- Последняя страница: 73
- Добавил в систему: Истомина Наталья Леонидовна