|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счет использования нелокального алгоритма анализа данныхстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 января 2021 г.
- Авторы: Кочиков И.В., Лагутин Ю.С., Лагутина А.А., Лукьяненко Д.В., Тихонравов А.В., Ягола А.Г.
- Журнал: Сибирский журнал индустриальной математики
- Том: 23
- Номер: 2
- Год издания: 2020
- Первая страница: 93
- Последняя страница: 105
- DOI: 10.33048/SIBJIM.2020.23.207
- Аннотация: Рассматривается обратная задача контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий с использованием оптического контроля. Вводится новый нелокальный алгоритм обработки данных измерений. На основе симуляции процесса напыления сравниваются ошибки, возникающие в случае использования традиционного локального и предложенного нелокального алгоритмов анализа данных измерений. Рассматривается схема коррекции уровней остановки напыления слоев оптических покрытий, позволяющая повысить точность контроля напыления. Поазывается, что нелокальный алгоритм оказывается более эффективным как в случае напыления без коррекции данных измерений, так и при использовании коррекции этих данных.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович