Влияние параметров облучения ионами аргона на спектр фотолюминесценции пористого кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 января 2021 г.
Аннотация:Проведено облучение пористого кремния ионами Ar+ с энергиями 100 и 200 кэВ и флюенсами от 10^12 см^−2 до 3 · 10^13 см^−2. Исследовано влияние ионного облучения при разных флюенсахи энергиях налетающих частиц на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Увеличение флюенса облучения приводит к снижению интенсивности фотолюминесценции, не влияя при этомна размер сдвига максимума. Показано, что ионное облучение приводит к сдвигу максимума фотолюминесценции, который увеличивается с ростом энергии. Обсуждаются основные механизмыфотолюминесценции в пористом кремнии.