Аннотация:Предложен устойчивый метод оптического контроля толщин слоёв при напылении многослойных оптических покрытий, позволяющий полностью устранить кумулятивный эффект накопления ошибок в толщинах напыляемых слоёв. Рассматриваемый метод контроля использует нелокальный алгоритм анализа данных, получаемых при контроле процесса напыления покрытия. С помощью компьютерной симуляции процесса напыления демонстрируется эффективность предложенного типа контроля в сравнении с другими типами оптического контроля.