Пленки диоксида олова, полученные высокочастотным магнетронным напылением с ионно-лучевой обработкой

Соломенникова, А.С.; Алалыкин, А.С.; Закирова, Р.М.; Федотова, И.В.; Крылов, П.Н.; Михеев, Г.М.

Авторы: Соломенникова А.С., Алалыкин А.С., Закирова Р.М., Федотова И.В., Крылов П.Н., Михеев Г.М.
Журнал: Химическая физика и мезоскопия
Том: 22
Номер: 1
Год издания: 2020
Издательство: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук"
Местоположение издательства: Ижевск
Первая страница: 5
Последняя страница: 15
DOI: 10.15350/17270529.2020.1.1
Аннотация: Методом высокочастотного магнетронного напыления с ионно-лучевой обработкой получены тонкие пленки диоксида олова SnO2на холодных (22С) и горячих (200С) стеклянных подложках. Исследовано влияние температуры конденсации и ионно-лучевой обработки на оптические и электрические свойства пленок. Найдены закономерности, характеризующие изменение их свойств, при хранении на воздухе при комнатной температуре. Представлены результаты исследования влияния высокотемпературного отжига на электрические, оптические свойства, а также на фазовый состав полученных пленок. Установлено, что высокотемпературный отжиг сопровождается увеличением коэффициента пропускания в синей области оптического спектра и потерей проводящих свойств полученных пленок.
Добавил в систему: Алалыкин Александр Сергеевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ЦЭМИ РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ЦЭМИ РАН

Пленки диоксида олова, полученные высокочастотным магнетронным напылением с ионно-лучевой обработкойстатья Исследовательская статья

Прикрепленные файлы