Управление элементным составом пленок ЦТС, осаждаемых магнетронным распылением, путем варьирования давления аргона - тезисы доклада | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Управление элементным составом пленок ЦТС, осаждаемых магнетронным распылением, путем варьирования давления аргонатезисы доклада

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 февраля 2021 г.

Авторы: Бешенков В.Г., Знаменский А.Г., Марченко В.А., Некрасов А.Н.
Сборник: XXVIII Российская конференция по электронной микроскопии «Современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарных методов исследованиях наноструктур и наноматериалов». г. Черноголовка, 7 – 10 сентября 2020г. Том 2
Том: 2
Тезисы
Год издания: 2020
Место издания: ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН Москва
Первая страница: 203
Последняя страница: 204
DOI: 10.37795/RCEM.2020.32.29.003
Добавил в систему: Некрасов Алексей Николаевич