СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И ТРИБОЛОГИЧЕСКОЕ ПОВЕДЕНИЕ КРЕМНИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ В СМЕСИ Ar–C2H2–N2статьяИсследовательская статья
Аннотация:Представлены результаты комплексного исследования структурного состояния, химического и фазового состава,микромеханических и трибологических свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней. Покрытия, полученные магнетронным распылением в смеси с содержанием азота близком 40 об. %, обладают высоким сопротивлением фрикционной усталости в условиях тяжелонагруженного контакта, а углерод, присутствующий в них, имеет алмазоподобную структуру с областями с sp2-и sp3-гибридизацией.