Аннотация:Исследовано влияние сопутствующей ионно-лучевой обработки на структуру и свойства пленок SnO2, синтезированных методом ВЧ-магнетронного напыления при комнатной температуре, а также при 200°С. Установлено, что ионно-лучевая обработка не влияет на прозрачность, ширину запрещенной зоны полученных пленок оксида олова. Показано, что происходит изменение показателяпреломления и удельного сопротивления. При комнатной температуре пленки являются рентгеноаморфными, а при 200°C – поликристаллическими. Рентгенодифракционные и электронографические исследования показали наличие одной фазы SnO2. Ионно-лучевая обработка приводит к изменению преимущественной ориентации кристаллитов. С увеличением тока ионно-лучевой обработки размеры зерен уменьшаются.