|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Application of Ion-Beam Treatment in the Process of the Magnetron Deposition of Thin SnO2 Filmsстатья Исследовательская статья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 30 декабря 2020 г.
- Авторы: Alalykin A.S., Krylov P.N., Zakirova R.M., Fedotova I.V., Kostenkov N.V., Durman E.A.
- Журнал: Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
- Том: 13
- Номер: 6
- Год издания: 2019
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 1103
- Последняя страница: 1107
- DOI: 10.1134/s1027451019060053
- Аннотация: The effect of accompanying ion-beam treatment on the structure and properties of SnO2 films synthesized by the method of high-frequency magnetron sputtering at room temperature and at 200°C is investigated. It is established that ion-beam processing does not affect the transparency and the band gap of the obtained tin-oxide films. The refractive index and resistivity change. At room temperature, the films are X‑ray amorphous, and at 200°C they are polycrystalline. X-ray diffraction and electron diffraction studies show the presence of a single phase of SnO2. Ion-beam treatment leads to a change in the preferred orientation of the crystallites. With increasing current of ion-beam processing, the grain sizes decrease.
- Добавил в систему: Алалыкин Александр Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Alalykin2019_Article_ApplicationOfIon-BeamTreatment.pdf | 1,3 МБ | 25 декабря 2020 [MCR] |