|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Reconstruction algorithm of 3D surface in scanning electron microscopy with backscattered electron detectorстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 октября 2021 г.
- Авторы: Borzunov Andrey A., Lukyanenko Dmitry V., Rau Eduard I., Yagola Anatoly G.
- Журнал: Journal of Inverse and Ill-Posed Problems
- Том: 29
- Номер: 5
- Год издания: 2021
- Издательство: V S P
- Местоположение издательства: Netherlands
- Первая страница: 753
- Последняя страница: 758
- DOI: 10.1515/jiip-2020-0136
- Аннотация: A new technique for three-dimensional surface reconstruction of relatively smooth surface topography using the scanning electron microscopy with backscattered electron detector is considered. Experiments show high effectiveness of the method.
- Добавил в систему: Лукьяненко Дмитрий Витальевич