|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Роста и субструктура пленок ниобата литиястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Dybov Vladislav А., Serikov Dmitrii V., Ryzhkova Galina S., Dontsov Aleksey I.
- Журнал: Конденсированные среды и межфазные границы
- Том: 21
- Номер: 1
- Год издания: 2019
- Первая страница: 51
- Последняя страница: 59
- DOI: 10.17308/kcmf.2019.21/716
- Аннотация: Проведены исследования начальных стадий роста пленок ниобата лития на Si в процессе ВЧМР, исследования влияния условий ВЧМР и последующих обработок (ТО, ИФО, БТО) на структуру, субструктуру и ориентацию получаемых покрытий. Установлено, что начальные стадии роста пленок ниобата лития в процессе ВЧМР на подогретой до 550 °С Si подложке характеризуются островковым зарождением кристаллитов и последующей их коалесценцией. Показана возможность управления текстурой пленок ниобата лития в процессе ВЧМР в условиях воздействия плазмы ВЧ-разряда, путем изменения состава рабочего газа. Показан эффект ИФО в кристаллизации аморфных пленок состава ниобата лития, заключающийся в формировании однофазной нанокристаллической пленки ниобата лития, в процессе обработки на воздухе.
- Добавил в систему: Донцов Алексей Игоревич