|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Формирование ультратонких слоев кремния на сапфирестатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Шемухин А.А., Балакшин Ю.В., Черныш В.С., Патракеев А.С., Голубков С.А., Егоров Н.Н., Сидоров А.И., Малюков Б.А., Стаценко В.Н., Чумак В.Д.
- Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
- Том: 38
- Номер: 19
- Год издания: 2012
- Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 83
- Последняя страница: 89
- Добавил в систему: Черных Павел Николаевич