|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Non‐self‐sustained electron beam RF‐generated plasma in application for functional surface pretreatmentстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 ноября 2021 г.
- Авторы: Palov A.P., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voronina E.N.
- Журнал: Plasma Processes and Polymers
- Том: 18
- Номер: 7
- Год издания: 2021
- Издательство: Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
- Местоположение издательства: Germany
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 15
- Номер статьи: 2100007
- DOI: 10.1002/ppap.202100007
- Аннотация: Simulation of non‐self‐sustained plasma generated by a 2‐keV electron beam in Ar with radiofrequency (RF) biasing is carried out using a one‐dimensional particle‐in‐cell Monte Carlo method. The effect of 10–30 mTorr gas pressure and different RF voltages of 0–45 V on the ion energy and angle distribution functions is analyzed and discussed. The performed ab initio dynamic simulations confirmed the possibility to eliminate methyl groups from the low‐k surfaces with low‐energy (10–20 eV) Ar ions, thereby turning these surfaces from hydrophobic into hydrophilic. The analytical model is developed to calculate the ion fluxes on two‐dimensional trench walls and bottom for conditions under study. It was shown that plasma with a pressure of 10 mTorr and a bias voltage of ≤45 V is better suited for pretreatment of the low‐k trench walls.
- Добавил в систему: Палов Александр Петрович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Первая страница | abstract | abstract.jpg | 2,4 МБ | 14 сентября 2021 [rakhimov] |