|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Трехмерная сканирующая электронная микроскопия топографии поверхности с учетом влияния функции отклика детекторной системы: математические методы обработки данных./тезисы доклада
- Авторы: Борзунов А.А., Лукьяненко Д.В., Рау Э.И., Ягола А.Г.
- Сборник: Сборник тезисов докладов научной конференции «ЛОМОНОСОВСКИЕ ЧТЕНИЯ». Секция физики. Апрель 2021
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Издательство: Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 171
- Последняя страница: 171
- Аннотация: Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) являетсяэффективным методом для изучение микроструктуры и состава образца, а также линейных размеров особенностей рельефа. Однако, в силу устройства сканирующего электронного микроскопа, получение информации о структуре образца вдоль третьей оси значительно затруднено. Это не только осложняет интерпретацию снимков, полученных с помощью СЭМ, но и неизбежно накладывает ограничения на изучение рельефа материала.В докладе будет описана новая методика, позволяющая получатьинформацию о трехмерной структуре образца с помощью СЭМ в режиме детектирования отраженных электронов. Предложенный метод полагается на предварительное восстановление зависимостей интенсивности сигнала от угла наклона участка поверхности образца с заведомо известной геометрией.Применение созданного метода не требует значительноймодификации экспериментальной установки, что облегчает её внедрение в рабоче-экспериментальный процесс. Наряду с возможностью восстановления субмикронного рельефа, эксперименты показали эффективность, надежность и быстроту метода [1, 2].Литература1. A.A. Borzunov, V.Y. Karaulov, N.A. Koshev, D.V. Lukyanenko, E.I. Rau,A.G. Yagola, and S.V. Zaitsev. 3D surface topography imaging in SEM withimproved backscattered electron detector: Arrangement and reconstruction algorithm. - Ultramicroscopy 207 (2019), 112830.2. A.A. Borzunov, D.V. Lukyanenko, E.I. Rau, and A. G.Yagola. Reconstruction algorithm of 3D surface in scanning electron microscopy with backscattered electron detector. – Journal of Inverse and Ill-Posed Problems (2020)(in print).
- Добавил в систему: Ягола Анатолий Григорьевич