|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Изготовление высокодобротных кристаллических микрорезонаторов c модами шепчущей галереи с использованием точечного алмазного точениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Миньков К.Н., Лихачев Г.В., Павлов Н.Г., Данилин А.Н., Шитиков А.Е., Юрин А.И., Лоншаков Е.А., Булыгин Ф.В., Лобанов В.Е., Биленко И.А.
- Журнал: Оптический журнал
- Том: 88
- Номер: 06
- Год издания: 2021
- Первая страница: 84
- Последняя страница: 92
- Номер статьи: 10
- DOI: 10.17586/1023-5086-2021-88-06-84-92
- Аннотация: Разработана и описана методика изготовления высокодобротных кристаллических оптических микрорезонаторов c модами шепчущей галереи путём алмазного точения и последующей асимптотической абразивной полировки. Методика позволяет изготавливать микрорезонаторы с заданной геометрией и добротностью не ниже 10^7. Приведено пошаговое описание процедуры изготовления, определены важные параметры, обеспечивающие оптимальное качество поверхности изготавливаемых микрорезонаторов, описаны процедуры контроля основных характеристик и дан обзор результатов изготовления микрорезонаторов из различных материалов.
- Добавил в систему: Данилин Андрей Николаевич