|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Transport of Secondary Ions—Products of the Inelastic Interaction of Protons with Integrated-Circuit Materialsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 7 июля 2021 г.
- Авторы: Novikov N.V., Chechenin N.G., Shirokova A.A.
- Журнал: Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
- Том: 15
- Номер: 2
- Год издания: 2021
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 236
- Последняя страница: 242
- DOI: 10.1134/S1027451021020117
- Добавил в систему: Новиков Николай Викторович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Novikov_Chechenin_Shirokova_surf_2021.pdf | 768,6 КБ | 17 мая 2024 [novikov1965] |