|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Comparative investigation of Ti-Si-N films magnetron sputtered using Ti5Si3+Ti and Ti5Si3+TiN targetsстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Shtansky D.V., Lyasotsky I.V., D’yakonova N.B., Kiryukhantsev-Korneev F.V., Kulinich S.A., Levashov E.A., Moore J.J.
- Журнал: Surface and Coatings Technology
- Том: 182
- Номер: 2-3
- Год издания: 2004
- Издательство: Elsevier BV
- Местоположение издательства: Netherlands
- Первая страница: 204
- Последняя страница: 214
- DOI: 10.1016/j.surfcoat.2003.08.052
- Добавил в систему: Кулинич Сергей Алексеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | full text | 027_SCT_2004.pdf | 1,6 МБ | 13 ноября 2018 [skulinich] |