|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
The Topography of Surface and Light Transmission by Quartz Windows after Exposure in a High-Frequency Discharge in Deuterium and Mixture of Deuterium with Nitrogenстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 июля 2021 г.
- Авторы: Gorodetsky A.E., Markin A.V., Bukhovets V.L., Zolotarevsky V.I., Zalavutdinov R.Kh, Babinov N.A., Dmitriev A.M., Razdobarin A.G., Mukhin E.E.
- Журнал: Technical Physics
- Том: 66
- Номер: 2
- Год издания: 2021
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 288
- Последняя страница: 297
- Оригинальные версии: Топография поверхности и пропускание света кварцевыми окнами после экспозиции в высокочастотном разряде в дейтерии и смеси дейтерия с азотом
- DOI: 10.1134/S1063784221020122
- Аннотация: The effect of a high-frequency discharge on the change in the topography of the surface of KU-1optical quartz and transmission of visible light (400–1000 nm) is studied. The working gases of the dischargeare D2 and a D2/N2 mixture, in which the fraction of N2 is 25 mol %. The addition of nitrogen increases therate of sputtering from 60 to 300 nm/h without changing the stoichiometry of the surface layers. After theexposure in plasma, the root-mean-square roughness of the surface decreases from 1.3 to 0.6 nm. The transparenceof quartz remains unchanged. The analysis of the roughness and calculation of the diffuse light scatteringwith a wavelength of 400 nm after passing through quartz are executed using the power spectral densityfunctions.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович