|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
CD-SEM and e-beam defect inspection of high-aspect ratio contact holes: measurement and simulation of prechargeстатья
- Авторы: Babin S., Borisov S., Kwon G., Lee C.H., Oh J.H., Mun D.Y., Yoo H.W.
- Сборник: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Год издания: 2012
- DOI: 10.1117/12.916441
- Добавил в систему: Борисов Сергей Сергеевич