|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Сравнительный анализ свойств алгоритмов решения обратных задач, связанных с монохроматическим контролем процессов напыления оптических покрытийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Кочиков И.В., Лагутин Ю.С., Лагутина А.А., Лукьяненко Д.В., Тихонравов А.В., Шарапова С.А., Ягола А.Г.
- Журнал: Журнал вычислительной математики и математической физики
- Том: 61
- Номер: 9
- Год издания: 2021
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 1528
- Последняя страница: 1535
- Аннотация: Проводится сравнительный анализ трех принципиально различных алгоритмов решения обратных за- дач контроля толщин слоев оптических покрытий на основе данных монохроматических измерений коэф- фициентов отражения/пропускания покрытий в процессе их напыления. Развитый ранее геометрический подход к исследованию корреляции ошибок в толщинах слоев напыляемых покрытий распространен на случай монохроматических измерений. Для оценки наличия эффекта самокомпенсации ошибок введен новый параметр, названный фактором самокомпенсации. Показана его роль при оценке перспектив ис- пользования различных алгоритмов для контроля напыления оптических покрытий.
- Добавил в систему: Ягола Анатолий Григорьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|