New Possibilities and Some Artifacts of the Cathodoluminescent Mode in Scanning Electron Microscopy

Zaitsev, S.V.; Kupreenko, S.Y.; Lukyanov, A.E.; Rau, E.I.; Tatarintsev, A.A.; Khaidarov, A.A.

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 3 мая 2017 г.

Авторы: Zaitsev S.V., Kupreenko S.Yu, Lukyanov A.E., Rau E.I., Tatarintsev A.A., Khaidarov A.A.
Журнал: Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
Том: 80
Номер: 12
Год издания: 2016
Издательство: Allerton Press Inc.
Местоположение издательства: United States
Первая страница: 1431
Последняя страница: 1435
DOI: 10.3103/S1062873816120200
Аннотация: Lightning inside the chamber of a scanning electron microscope (SEM), caused by electrons being scattering from a sample (and parts of the chamber), is observed and analyzed. These electrons generate the luminescence in a Thornly–Everhart collector. This parasitic effect (artifact) must be considered and eliminated in all experiments with the cathodoluminescent (CL) mode of SEM. A new technique for measuring surface potential on dielectric samples is proposed. It is based on variations in the CL signal during electron irradiation of a sample in SEM.
Добавил в систему: Купреенко Степан Юрьевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ЦЭМИ РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ЦЭМИ РАН

New Possibilities and Some Artifacts of the Cathodoluminescent Mode in Scanning Electron Microscopyстатья

Прикрепленные файлы