|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Экспериментальные методики ускорительного комплекса HVEE-500тезисы доклада
- Авторы: Черныш В.С., Евсеев А.П., Балакшин Ю.В., Шпорин А.Д., Миннебаев Д.К., Назаров А.В., Шемухин А.А.
- Сборник: Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 14-й Международной конференции, посвященной 100-летию Белорусского государственного университета
- Серия: ISSN 2663-9939
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: Минск, Беларусь
- Первая страница: 603
- Последняя страница: 606
- Аннотация: Представлено описание возможностей экспериментального комплекса HVEE-500 НИИЯФ МГУ, позволя- ющего проводить направленное модифицирование и исследования поверхностей и тонких пленок. Ускори- тельный комплекс оснащен четырьмя экспериментальными трактами, которые позволяют создавать, модифи- цировать и исследовать объекты нанометрового масштаба за счет эффектов распыления мишени, импланта- ции ионов, обратного рассеяния. Представлены описание и технические параметры экспериментальных трак- тов, в том числе предназначенного для проведения in situ ионной имплантации и спектрометрии Резерфор- довского обратного рассеяния. Показаны возможности комплекса в задачах инженерии дефектов за счет об- лучения ионами благородных газов в наноструктурированных материалах на примере углеродных нанотру- бок и пористого кремния.
- Добавил в систему: Евсеев Александр Павлович