|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Эволюция нанорельефа поверхности кремния при наклонной кластерной бомбардировкетезисы доклада
- Авторы: Киреев Д.С., Рябцев М.О., Иешкин А.Е., Черныш В.С.
- Сборник: Тезисы докладов 50-й Международной Тулиновской конференции "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами", Москва, 25–27 мая 2021
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: Москва: КДУ, Университетская книга
- Первая страница: 11
- Последняя страница: 11
- Добавил в систему: Иешкин Алексей Евгеньевич