|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование состояния приповерхностного слоя полированных кремниевых подложек методом рентгеновской рефлектометрии в зависимости от методов их очисткистатья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Волковский Ю.А., Серегин А.Ю., Фоломешкин М.С., Просеков П.А., Павлюк М.Д., Писаревский Ю.В., Благов А.Е., Ковальчук М.В.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 9
- Год издания: 2021
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 40
- Последняя страница: 48
- Добавил в систему: Львов Кирилл Вячеславович