ДЕТЕКТОРНАЯ ЧАСТЬ СТАНЦИИ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЙ И ОБЛУЧЕНИЙ ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИЗДЕЛИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ ПУЧКАМИ ИОНОВ ВЫСОКОЙ ЭНЕРГИИстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК