|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Модель электронно-лучевого экспонирования рельефных многослойных структур при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-8137статья
- Авторы: Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
- Журнал: НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ
- Номер: 47
- Год издания: 1987
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 10
- Добавил в систему: Грачев Евгений Александрович