Фотолюминесценция аморфных и кристаллических кремниевых нанокластеров в сверхрешетках из нитрида и оксида кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Исследованы фотолюминесцентные свойства сверхрешеток на основе нитрида и оксида кремния,
изготовленных методом плазмохимического осаждения из газовой фазы. В структурах, отожженных
при температуре 1150◦C, зарегистрированы пики фотолюминесценции в районе 1.45 эВ, обусловленные
рекомбинацией экситонов в кремниевых нанокристаллах, формируемых в результате отжига. Наряду с
этим были зарегистрированы пики, вызванные рекомбинацией на дефектах, существующих на границе
нанокристаллов и матрицы нитрида кремния. Структуры, отожженные при температуре 900◦C, имеют ряд
пиков фотолюминесценции в диапазоне 1.3−2.0 эВ, обусловленных как дефектами, так и рекомбинацией
экситонов в аморфных кремниевых нанокластерах, формирующихся при используемой температуре отжига.
Наблюдаемые особенности всех спектров фотолюминесценции подтверждаются характером ее кинетики.