Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
РАЗВИТИЕ РАБОТ ПО ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКЕ ТОНКИХ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК
статья
Авторы:
Богданов Б.Н.
,
Епифанов Г.И.
,
Кнаб О.Д.
,
Кондрашов П.Е.
,
Мироненко Л.С.
, Фролов В.Д.
Журнал:
Электронная промышленность
Номер:
1
Год издания:
1983
Первая страница:
45
Последняя страница:
47
Аннотация:
Рассматривается влияние облучения ионами средних энергий на физико-химические и механические свойства тонких пленок фоторезистов
Добавил в систему:
Кондрашов Павел Евгеньевич