Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ЦЭМИ РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
МАКРОКИНЕТИКА РАДИАЦИОННО-ХИМИЧЕСКИХ ПРЕВРАЩЕНИЙ ФОТО- И ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТОВ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ УСКОРЕННЫМИ ИОНАМИ СРЕДНИХ ЭНЕРГИЙ.В кн.: Москва. Изд. МИЭМ, С.128
тезисы доклада
Авторы:
Григорьев Ф.И.
,
Кондрашов П.Е.
Сборник:
Материалы и приборы электронной техники. Межвузовский сборник
Тезисы
Год издания:
1986
Место издания:
МИЭМ
Первая страница:
128
Аннотация:
Рассмотрены динамика физико-химических процессов в пленках фото- и электронорезистов при их облучении ионами различных энергий и сделан вывод о формировании в объеме пленок алмазоподобной фазы углерода
Добавил в систему:
Кондрашов Павел Евгеньевич