|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Diamond Microstructuring by Deep Anisotropic Reactive Ion Etchingстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 апреля 2022 г.
- Авторы: Golovanov Anton V., Bormashov Vitaly S., Luparev Nikolay V., Tarelkin Sergey A., Troschiev Sergey Y., Buga Sergei G., Blank Vladimir D.
- Журнал: Physica Status Solidi A
- Том: 215
- Номер: 22
- Год издания: 2018
- Первая страница: 1800273
- DOI: 10.1002/pssa.201800273
- Добавил в систему: Малышкина Инна Александровна