|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Химические основы разработки антиотражающих покрытий для микроэлектроники современного уровнястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Кузнецова Н.А., Малимоненко Н.В., Билданов М.А., Грибов Б.Г., Варламов Д.А., Малков Г.В.
- Журнал: Наноиндустрия
- Том: 13
- Номер: 4s
- Год издания: 2020
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 199
- Последняя страница: 201
- DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.4s.199.201
- Добавил в систему: Малков Георгий Васильевич