|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдуваниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 92
- Номер: 8
- Год издания: 2022
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 1253
- Последняя страница: 1260
- DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52793.86-22
- Аннотация: Проведено исследование степени сферичности реальной формы круглых тонкопленочных мембран при ее изменении в процессе реализации метода выдувания. Изучены сформированные Bosch-процессом круглые тонкопленочные мембраны со структурой SiNx /SiО2/SiNx /SiО2, pSi*/SiNx /SiO2, Al и др. Описана методика, позволяющая определить области отклонения формы поверхности мембраны от сферической, оценить величину и характер распределения радиуса кривизны вдоль диаметра мембраны. Показано, что форма мембран отличается от сферической ближе к области закрепления, а также во многих случаях и к области вершины (центра) мембраны. Также обнаружена тенденция к увеличению радиуса кривизны по мере приближения к центру мембраны.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна