|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Импульсное лазерное осаждение тонких пленок ITO и их характеристикистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
- Авторы: Зуев Д.А., Лотин А.А., Новодворский О.А., Лебедев Ф.В., Храмова О.Д., Петухов И.А., Путилин Ф.Н., Шатохин А.Н., Румянцева М.Н., Гаськов А.М.
- Журнал: Физика и техника полупроводников
- Том: 46
- Номер: 3
- Год издания: 2012
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 425
- Последняя страница: 429
- Аннотация: Методом импульсного лазерного осаждения выращены тонкие пленки оксида индия и олова (ITO)на подложках из кварцевого стекла. Проведены исследования структурных, электрических и оптических свойств пленок ITO в зависимости от температуры подложки, давления кислорода в вакуумной камере и концентрации олова в мишени. Прозрачность синтезированных пленок в видимой области спектра превышает 85%. Достигнуто минимальное значение удельного сопротивления 1,79.10-4 Ом.см в пленках ITO с содержанием олова 5 ат%.
- Добавил в систему: Шатохин Анатолий Николаевич