|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
О целесообразности применения гибридных интегральных микросхем и микросборок в качестве совместимых с ESEM микрофлюидных субкамертезисы доклада
- Авторы: Градов О.В., Александров П.Л., Шевченко Д.А., Зайцев Ю.А., Маклакова И.А.
- Сборник: Объединенная конференция "Электронно-лучевые технологии и ренгеновская оптика в микроэлектронике" КЭЛТ-2021
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: ООО "ФУТУРИС ПРИНТ" Москва
- Первая страница: 68
- Последняя страница: 70
- Добавил в систему: Gradov Oleg V.
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | ESEM.pdf | 294,2 КБ | 1 августа 2022 [gradov] |