|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Functionalization of low-k surfaces with low-energy Ar ionsстатья
- Авторы: Solovykh A.A., Sycheva A.A., Voronina E.N.
- Журнал: Technical Physics Letters
- Том: 48
- Номер: 4
- Год издания: 2022
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 15
- DOI: 10.21883/tpl.2022.04.53162.19085
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна