Аксиальная зависимость продольного высокочастотного магнитного поля и параметров плазмы в индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полемстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК