|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Структура поверхностного слоя и пропускание света сапфиром после распыления в ВЧ разряде в смеси Н2-N2статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Городецкий А.Е., Снигирев Л.А., Маркин А.В., Буховец В.Л., Рыбкина Т.В., Залавутдинов Р.Х., Раздобарин А.Г., Мухин Е.Е., Дмитриев А.М.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 92
- Номер: 10
- Год издания: 2022
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 1595
- Последняя страница: 1602
- Переводные версии: Sapphire surface layer structure and transmission in visible after sputtering in H2-N2 RF discharge
- DOI: 10.21883/jtf.2022.10.53252.108-22
- Аннотация: С помощью методов рентгеновской дифракции, просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии анализа светопропускания исследованы структурные превращения в поверхностных слоях сапфира после воздействия ВЧ плазмы в смеси водород-азот. Показано, что длительное распыление сапфира с плоскостью базиса параллельной поверхности не меняет его светопропусканияю
- Добавил в систему: Городецкий Александр Ефимович