|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Влияние ионного облучения на структуру, оптические и электрофизические свойства пористого кремниятезисы доклада
- Авторы: Радева Д.А., Марченко О.М., Шпорин А.Д., Балакшин Ю.В., Евсеев А.П., Шемухин А.А.
- Сборник: Тезисы докладов 51-й Международной Тулиновской конференции "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами", Москва, 24–26 мая 2022
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Место издания: Москва: КДУ, Университетская книга
- Первая страница: 194
- Аннотация: Пористый кремний обладает целым рядом необычных свойств, обусловленных малостью поперечного размера его образований, несильно превышающих размеры элементарной ячейки. Это ведет к тому, что в его свойствах в значительной степени проявляются квантовомеханические закономерности. В настоящее время появляется тенденция использования наночастиц кремния в наноэлектронике и биомедицинских направлениях, чем обусловлена необходимость развития методик, которые дают модифицировать его физические свойства с высокой точностью и повторяемостью результата воздействия, например, с помощью ионно-пучковой инженерии дефектов. Дефекты, образующиеся при ионном облучении, изменяют электронные и оптические свойства материалов, которые впоследствии влияют на такие свойства, как поглощение света, люминесценция, перенос и разделение носителей заряда. В данной работе исследовано влияние ионного облучения на структуру, оптические и электрофизические свойства пористого кремния. Эксперименты проводились на образцах кристаллического кремния и пористого кремния, приготовленных по технологии электрохимического анодного травления из пластин кремния с ориентацией (111). Исследованы особенности спектров комбинационного рассеяния, проведен расчет значений проводимости.
- Добавил в систему: Шпорин Артем Дмитриевич