|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Удаление метильных групп с поверхности low-k диэлектриков ионами низкой энергиитезисы доклада
- Автор: Соловых А.А.
- Сборник: Материалы Международного молодежного научного форума «Ломоносов-2023»
- Редакторы: Алешковский Иван Андреевич, Андриянов Андрей Владимирович, Антипов Евгений Александрович, Зимакова Екатерина Игоревна
- Серия: География
- Тезисы
- Год издания: 2023
- Издательство: ООО "МАКС Пресс"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 118
- Последняя страница: 120
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич