|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Работы ИПХФ РАН в области создания ПАВ-компонента безметального проявителя для фотолитографиитезисы доклада
- Авторы: Бадамшина Э.Р., Курбатов В.Г., Тарасов А.Е., Малков Г.В., Пугачева Т.А., Бадикова А.Г., Варламов Д.А.
- Сборник: Российский форум «Микроэлектроника 2022» 8-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Сборник тезисов
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Место издания: ТЕХНОСФЕРА Москва
- Первая страница: 602
- Последняя страница: 603
- Добавил в систему: Бадикова Анастасия Геннадьевна