Наноразмерный биосенсор со встроенным терморегулятором для ДНК диагностики

Циняйкин, И.И.; Преснова, Г.В.; Божьев, И.В.; Скорик, А.А.; Рубцова, М.Ю.; Трифонов, А.С.; Снигирев, О.В.; Крупенин, В.А.; Преснов, Д.Е.

Авторы: Циняйкин И.И., Преснова Г.В., Божьев И.В., Скорик А.А., Рубцова М.Ю., Трифонов А.С., Снигирев О.В., Крупенин В.А., Преснов Д.Е.
Журнал: Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
Номер: 2
Год издания: 2023
Издательство: Изд-во Моск. ун-та
Местоположение издательства: М.
Номер статьи: 2320701
DOI: 10.55959/MSU0579-9392.78.2320701
Аннотация: В данной работе представлен КМОП совместимый метод изготовления сенсорной системы на основе полевых транзисторов с каналом-нанопроводом, в которую интегрированы терморегулирующие устройства. Предлагаемая система позволяет поддерживать необходимые температурные режимы в биоаналитических исследованиях. Полевые транзисторы с каналом-нанопроводом изготавливались с использованием процесса реактивно-ионного травления верхнего слоя пластины кремния на изоляторе через маску, сформированную с помощью электронно-лучевой литографии. Терморезистивные датчики для контроля температуры располагались на поверхности чипа рядом с транзисторами. Они представляли собой титановые полоски, изготовление которых производилось одновременно с формированием контактных площадок к кремниевым электродам транзисторов, что позволило избежать выполнения дополнительных технологических процессов. Демонстрация системы со встроенным терморегулятором для определения нуклеиновых кислот была проведена на модельных олигонуклеотидах. Повышение рабочей температуры устройства до диапазонов, при которых гибридизация ДНК происходит наиболее эффективно, позволяет повысить специфичность и избежать ложноположительных результатов, а также сократить время анализа. Возможность нагревания до 85-90°С позволяет многократно использовать такие устройства.
Добавил в систему: Циняйкин Илья Иванович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ЦЭМИ РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ЦЭМИ РАН

Наноразмерный биосенсор со встроенным терморегулятором для ДНК диагностикистатья

Прикрепленные файлы