Mechanisms of sputtered atoms energy spectra formation during ejection: Computer simulation study for two-component targetsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 12 января 2022 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст VNS_1996_Vacuum_47_12.pdf 838,4 КБ 21 мая 2014 [sput]