Модернизация камеры подготовки образцов установки Riber LAS – 2000 для сверхвысоковакуумного напыления тонких полупроводниковых пленокстатья

Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст VTT_2010-4_235-240.pdf 6,2 МБ 17 мая 2017 [RiVal]