СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ГАЗОВЫХ, КЛАСТЕРНЫХ СПРЕЙНЫХ И ЖИДКОСТНЫХ МИШЕНЕЙ В ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННОМ ИСТОЧНИКЕ ИЗЛУЧЕНИЯстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 июля 2024 г.
Аннотация:Рассматриваются способы формирования жидкостных, микрокапельных, кластерных и газовых мишеней в вакууме для использования в лазерно-плазменных источниках излучения. Приведены характеристики используемых систем формирования мишени и систем напуска газа на их основе. Данные системы формируют импульсные и статичные струи с малым массовым расходом, порядка ~70 мл/ч жидкости или 1500 см3/ч газа, что позволяет проводить откачку вакуумного объема одним турбомолекулярным насосом с производительностью 1000 л/с.