Исследование процессов деградации многослойных рентгеновских зеркал sc/si при нагреве и облучении лазером методами рентгеновской дифракции и электронной микроскопиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Аннотация:Структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал Sc/Si исследовались методами просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов, малоугловой рентгеновской дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновского фазового анализа. Установлены закономерности деградации рентгеновских зеркал при термическом отжиге и под воздействием рентгеновского лазерного излучения. Показано, что процессы силицидообразования в многослойных зеркалах Sc/Si при термическом нагреве протекают в следующей последовательности: 1) реакция твердофазной аморфизации с образованием аморфного силицида скандия ScSi (100420°С); 2) образование аморфного силицида Sc3Si5; 3) кристаллизация силицида Sc3Si5 (430°С); 4) разрушение слоистой структуры зеркала (600°С). Обнаружено, что деградация зеркала под воздействием рентгеновского лазерного излучения носит качественно такой же характер, как и при термическом нагреве, структура слоев в зоне термического влияния соответствует различным стадиям термической деградации.