|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Влияние химической активности имплантируемых ионов и предварительного облучения мишени низкоэнергетическими ионами на профиль внедрения имплантируемой примесистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Картапова Т.С., Воробьев В.Л., Гильмутдинов Ф.З.
- Журнал: Химическая физика и мезоскопия
- Том: 25
- Номер: 4
- Год издания: 2023
- Издательство: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук"
- Местоположение издательства: Ижевск
- Первая страница: 544
- Последняя страница: 553
- Добавил в систему: Картапова Татьяна Сергеевна